爱德华螺杆泵IXL120E维修

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iXL 高性能干式真空泵机组，从低到高抽速应有尽，满足各种真空镀膜，气量需求。
iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。
这些性能领先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须 维护。

适用于半导体和太阳能应用的小型 iXL 干泵
iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可 用于负载锁定和清洁应用的最小且最轻的泵之一。 其低振动和低噪声级的优点使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
一流的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功耗 有助于最大程度减少客户拥有成本
环保模式可以在空闲 期间最多减少 92% 的功耗
最高 35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
极小且极轻， 有助于节省宝贵的工厂空间

品雅真空是爱德华真空泵全国一级代理商，专业销售和维修爱德华真空泵系列，莱宝真空泵，阿特拉斯真空泵，安捷伦分子泵，岛津分子泵，汉钟螺杆真空泵，普旭真空泵等等，提供各种进口真空泵配件耗材，真空泵油等。

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场领先 iH 产品的换代升级，为严苛制程能力 树立了新标准，它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。

可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 完美大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有最大可靠性。

iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。

东莞市品雅真空设备有限公司专用维修爱德华螺杆泵IXL120E系列产品，提供维修配件及真空泵油。

IXL120E技术参数：

订货号：

iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷却水接头
A54113010
iXL120 E 200-460V 1/4 QC 冷却水接头
A54113020
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷却水接头
A54113610
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷却水接头
A54113710
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀
A54113011
iXL120 E 200-460V SPI 1/4 QC 冷却水接头流量控制阀
A54113221
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀
A54113611
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀
A54113711

iXL120N E 200-460V 3/8 QC 冷却水接头
A54114010
iXL120N E 200-460V 1/4 QC 冷却水接头
A54114020
iXL120N E 200-460V SPI TIM 3/8 QC 冷却水接头
A54114210
iXL120N E 200-460V TEL 3/8 QC 冷却水接头
A54114410
iXL120N E 200-460V 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀
A54114011
iXL120N E 200-460V TEL 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀
A54114411

东莞市品雅真空设备有限公司专业销售爱德华螺杆泵IXL120E系列产品，可以为客户提供上门安装服务，最快的订货周期满足可以使用需求。

爱德华螺杆泵IXL120E/NE优势及功能：

一流的舱室抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)

仅仅 0.55kW 的功耗有助于最大程度减少客户拥有成本

环保模式可以在空闲期间最多减少 92% 的功耗

最高 35 oC 的水供给有助于降低设备冷却水要求

极小且极轻，有助于节省宝贵的工厂空间

油润滑的精密轴承可确保顺畅、低振动的运行，无需例行维护工作。

独特的双入口布置可实现高效的前级输送和位置选件

零氮吹扫选件无需氮气供给，从而节省安装和运行成本

XL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的最小且最安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。

一流的舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功 耗有助于最大程度减少客户拥有成本
环保模式可以在 空闲期间最多减少 92% 的功耗
最高 35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求
极小且极 轻，有助于节省宝贵的工厂空间
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUPIPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。

IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的优点使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时最大程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，同时减少能耗。

3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP™ 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP™ 的 插入式替换部件