随着真空泵的市场日益扩大，真空泵应用范围愈加广泛，真空泵排放问题也日益突出，每个地方对排放的要求是不一样的，根据环保部门的《工业“三废”排放试行标准》规定了工业废水、废气、废渣的排放浓度和排放容量标准，其中废气排放标准对5种工业部门定出13类有害物质的容许浓度和排放量。这些有害物质是：二氧化硫、二硫化碳、硫化氢、氟化物、氮氧化物、氯、氯化氢、一氧化碳、硫酸雾、铅、汞、铍化物、烟灰和生产性粉尘。大量吸入会危害人体健康。
在化工生产过程中用来抽真空的真空泵会产生部分的有机废气，不过真空泵本身不会产生有机废气，产生的废气主要是工作时用的原材料所产生的，对于真空泵所产生的尾气的处理一般可以有冷凝法、吸附法、吸收法、等离子体法等，如果是单一的真空泵可以采用冷凝+缓冲+液封工艺，如果是多台真空泵的话则需要做成统一收集，然后通过洗涤净化，
真空泵所产生的废气成分不单一，采用的三种方式的工艺流程，可以使有机废气在收集后通过设备净化，然后再经过15米烟囱高空排放到大气中。
1、离子净化法：采用高压发生器形成低温等离子体，在平均能量约5eV的大量电子作用下，使通过净化器的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。在处理过程中，当有机气体进入冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室（PRC）。反应室分成149根六边形管子，每根管子的中央有一根冠状电线，与反应室独立隔开。通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁产生放电现象。一旦放电，等离子体电子就与气体分子相撞击，产生化学性活性核素，就是通常所说的激进和负荷载体。此外，还具有微型静电沉淀器的功能，该装置可以除尘。
2、炭吸附法：主要由活性炭层和承托层组成。活性炭具有发达的空隙，比表面积大，具有很高的吸附能力。正是由于活性炭的这种特性，它在水的深度处理中被广泛应用，如生活给水，污水后段的（净水）深度处理等。 活性炭使用一段时间后，吸附了大量的吸附质，逐步趋向饱和，丧失了工作能力，严重时将穿透滤层，因此应进行活性炭的再生或更换。
3、为真空泵安装排气过滤器，质量好的过滤器过滤后是看不到油烟的，而且过滤后的气体可以直排，
以上介绍了三种处理真空泵废气的方法，其实方式方法还有很多，主要是真空泵废气的管道收集问题，需要设计好主管道的管径，支管道的管径等，然后采用侧吸风还是上吸风进行收集问题，选择使用多大风量和多大风压的风机，这些都是决定净化效果的
