螺杆真空泵在使用时常会用到氮气进行填充，主要是因为用氮气对泵进行吹扫，可以延缓腐蚀性气体对泵的腐蚀，从而起到一个良好的保护作用。
螺杆真空泵为什么要用氮气，我们可以总结为以下几个原因：
1、螺杆真空泵里冲入氮气是为了在真空泵内壁形成微弱保护气膜，氮气压力不宜过大，也不宜过小，过大会影响抽真空效果和增加能耗；过小可能导致形不成保护效果。
2、抽腐蚀性气体的泵会用到氮气，氮气对泵进行吹扫，延缓腐蚀性气体对泵的腐蚀。
3、是真空镀膜工艺中用到的一些气体对螺杆真空泵有腐蚀作用，所以会采用这种泵。但是墙体里通的氮气和泵用的是分开的。
4、冲多少单位的氮气后就能镀膜出他们需要的颜色。有些颜色用乙炔。在实际运用中，多数使用氩气。
5、气密，稀释制程气体。减轻腐蚀及制程附着。
6、氮气在没有一定的温度、压力或者是催化剂等辅助条件下，很难与外界发生反应。因此在泵系统清洗过程中，利用氮气吹扫，更为安全可靠。
7、氮气的吸附热小，吸附于物体表面的时间短。当氮气吸附于螺杆真空泵的器壁表面时，将会很容易被抽走。真空系统清洗中的氮气吹扫正式利用了它的这个特性。在真空镀膜中，用干燥氮气吹扫清洗过真空系统后，氮分子会首先吸附于真空系统的器壁。由于器壁表面的吸附位是一定的，被氮分子沾满后，其他的分子如水分子等就会减少。因而真空系统的整个抽气时间就会大大减少。
氮气是一种稳定无害的气体，可以很好的对螺杆真空泵起到保护作用，有效延长使用寿命，减缓腐蚀问题。
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