在真空系统中,残余气体是影响真空工艺性能及真空器件寿命的重要因素。因为真空系统中的残余气体及某些有害气体，会破坏真空系统的性能，还可能会促发某些损坏真空室内应用器件的现象。在实际工作中，有时不但要降低真空器件中残余气体的量，更要控制残余气体的成份。
从高真空及超高真空的角度来看，真空系统内的残余气体是-一个必须引起注意的问题。
残余气体往往造成真空系统内部的表面污染，从而达不到真空工艺所要求的结果(例如，不
能获得所需沉积的薄膜或者是使放电及等离子的状况发生变化)的重要原因。另外，对超高
真空系统来说，残余气体的成分对系统的极限压力往往产生重要影响，如果抽气系统或抽气
的工艺方法选择不当，会使真空系统达不到预期的本底压力。
真空系统中的残余气体成分是与真空系统的作业种类及工艺(如，镀膜、金属熔炼等)和所用的抽气系统的类型有关，今天主要分析机械泵机械真空泵及油扩散泵抽气系统:
一、机械真空泵及油扩散泵抽气系统
(1) 在低真空下使用的真空装置中，残余气体主要为空气(O2、N2…; 如果操作工艺中有化学反应，就要加上反应生成气体的成分;若是脱气熔炼装置，则要加上由熔炼金属放出的气体;如果是冷冻干燥装置还要加上水蒸汽成分.
(2)在只用油封机械泵连续进行长时间抽气的真空装置中，当无泄漏时，残余气体中
有:有机物及水蒸汽。
(3)在用油扩散泵抽气的高真空装置中，残余气体中主要有:有机物和水蒸气。此时，若以性能良好的硅油作工作液或在抽气系统中加入冷阱和挡板，则可大大降低残余气体中的有机碳氢化合物，但是加上挡板和冷阱使抽气系统的抽速下降。
(4)在机械泵与扩散泵当中串入分子筛或活性氧化铝的吸附阱，可以显著地降低机械泵油蒸气对系统的影响。
另外，扩散泵抽气系统的正确操作也可以降低系统中的有机油蒸汽的分压。
只要采用用油作工作介质的真空抽气系统,残余气体中的油蒸汽及各种有机物就较多。
在不经加热烘烤除气处理的装置中，由于器壁吸附的水蒸气的放出，残余气体中的主要成分
多为水蒸汽。
